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  • 快速高低溫退火設(shè)備RTA（離子注入后活化激活）
• 背面處理設(shè)備
  • 全自動晶片減薄設(shè)備SGM-9100
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  • 高還原性低溫熱壓鍵合設(shè)備 FATB
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  • 晶片邊緣輪廓儀
• 配件及耗材
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  • 研磨盤及拋光盤