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• 原材料及晶圓
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  • 氧化鎵單晶外延片
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  • 快速高低溫退火設(shè)備RTA（離子注入后活化激活）
• 背面處理設(shè)備
  • 全自動晶片減薄設(shè)備SGM-9100
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  • 高還原性低溫?zé)釅烘I合設(shè)備 FATB
  • 高還原性低溫?zé)釅簩?zhǔn)鍵合設(shè)備 MAFP
  • C2W低溫?zé)釅烘I合設(shè)備 SAFP
• 量測設(shè)備
  • 晶片邊緣輪廓儀
• 配件及耗材
  • 金剛石研磨液
  • 拋光液
  • 拋光布及拋光墊
  • 研磨盤及拋光盤